一、洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
洁净室主要作用在于控制产品所接触空气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
二、洁净室的分类
1、百级洁净间乱流式(Turbulent Flow)：
空气由空调箱经风管与洁净室末端高效过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级：1,000-100,000级。
2、百级洁净间层流式(Laminar)：
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%的高效过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为 1~100级。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃随风向排出室外。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以高效过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高的洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3、复合式(Mixed Type)：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。
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